曝光機工作原理及曝光機能量檢測

一、什么是曝光機？

曝光機即電子束曝光機是集電子光學、電氣、機械、真空、計算機技術等于一體的復雜的半導體加工設備。曝光機是20 世紀 60 年代初從掃描電子顯微鏡基礎上發(fā)展起來， 70 年代以后廣泛應用于半導體集成電路制造業(yè)。

二、曝光機工作原理

在計算機的控制下，利用聚焦電子束對有機聚合物（通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠）進行曝光，受電子束輻照后的光刻膠，其物理化學性質(zhì)發(fā)生變化，在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區(qū)域，從而在抗蝕劑上形成精細圖形。

三、UV LED曝光機特點

1、LED 讓墨水深層固化 -LED燈發(fā)出的光波長是395nm，能夠讓墨水深層固化，因此不會發(fā)生印品表面已干但底層不干的情況。在各種介質(zhì)上印刷都有很強的黏附性和抗刮劃性。

2、 省電節(jié)能，減低成本 - LED發(fā)光達到某種亮度時所消耗的能量只有15瓦左右，而傳統(tǒng)的燈達到同樣亮度要消耗1500瓦的能量，即使與UV鹵素燈相比，也可節(jié)省80%的能源，因此LED燈非常節(jié)能環(huán)保。

3、穩(wěn)定性高 - UV噴墨印刷機的印刷質(zhì)量跟UV干燥固化的過程有莫大關系，LED燈的穩(wěn)定性使得輸出的能量是可預見的、穩(wěn)定的，因此印刷效果同樣是可預見的、穩(wěn)定的。

4、 燈源系統(tǒng)保用3年，使用壽命長 -LED燈壽命超過2萬小時。

5、安全性高 - LED燈沒有UVC射線，沒有臭氧釋放，也不易破損。

6、 更廣泛的應用范圍 - LED燈的發(fā)光不是紅外線加熱，發(fā)放的熱力較低，因而不會影響那些容易受熱而變形的介質(zhì)(像泡沫塑料板、箔膜、PVC等)在印刷過程中的傳送。這樣，介質(zhì)的應用范圍就更加廣泛了。

7、反應(開關)時間快 - LED燈不需要預熱，可以開機后立即印刷，生產(chǎn)力得以提高。

四、UV LED曝光機能量檢測

針對UV LED曝光機的UV LED燈的能量檢測，需要用到專業(yè)檢測UV LED燈的能量計林上LS128。